方案摘要
方案下载| 应用领域 | 电子/电气 |
| 检测样本 | 其他 |
| 检测项目 | 化学性质>元素分析 |
| 参考标准 | GB/T 1557-1989 |
傅立叶变换红外光谱仪广泛应用于半导体行业及其晶体材料结构、成分分析和杂质缺陷特性研究等领域。本文使用岛津IRXRoss测定半导体材料硅透射率，并根据GB/T 1557-1989、GB/T 1558-1997-T、GB/T 14143-93计算半导体材料硅中的氧碳含量。该方法简单、快速、样品无需前处理，可方便地扫描得到红外谱图，从而得到碳氧相关信息，对硅材料质量控制起到指导作用。
目前硅集成电路向大规模的方向发展，对材料的质量控制提出了更高的要求，要控制硅材料中氧碳的含量。用傅立叶红外光谱仪可以方便的测定了半导体材料单晶硅的透过率，根据国标可以计算出半导体材料硅中的氧碳含量，对于半导体材料硅的质量控制起到很好的作用。
文献贡献者
基于AI算法的LC方法开发自动梯度优化
利用DPiMS QT和LCMS-9030进行血液中药物的筛查
使用DPiMS QT及Nexera™ LCMS-9030进行血液中药物的定性/定量分析
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