方案摘要
方案下载应用领域 | 半导体 |
检测样本 | 集成电路 |
检测项目 | 化学性质>元素分析 |
参考标准 | - |
与常规四极杆 ICP-MS 系统相比,使用Agilent 8800 电感耦合等离子体串联质谱仪检测有机基质中挑战性的元素硅、磷和硫具有明显的消干扰和灵敏度优势。8800 通过 MS/MS 模式实现了上述优异性能,其中第一个四极杆只允许分析物离子和其它具有相同质荷比的干扰离子通过。通过排除全部非目标质量数,使池内的反应化学高度受控并且保持一致,实现高效并可预测的干扰消除。Q1 还能排除与分析物质量数不同但可能对分析物池内反应产物离子产生重叠干扰的所有离子,从而大大改善了使用质量数偏移的反应气模式的准确度和可靠性。另外,8800 的高灵敏度和低背景使检出限比四极杆 ICP-MS 更好,即使是在单四极杆模式下操作亦是如此。
与常规四极杆 ICP-MS 系统相比,使用Agilent 8800 电感耦合等离子体串联质谱仪检测有机基质中挑战性的元素硅、磷和硫具有明显的消干扰和灵敏度优势。8800 通过 MS/MS 模式实现了上述优异性能,其中第一个四极杆只允许分析物离子和其它具有相同质荷比的干扰离子通过。通过排除全部非目标质量数,使池内的反应化学高度受控并且保持一致,实现高效并可预测的干扰消除。Q1 还能排除与分析物质量数不同但可能对分析物池内反应产物离子产生重叠干扰的所有离子,从而大大改善了使用质量数偏移的反应气模式的准确度和可靠性。另外,8800 的高灵敏度和低背景使检出限比四极杆 ICP-MS 更好,即使是在单四极杆模式下操作亦是如此。
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