Smart SPM在亚微米级别上的XY闭环特性

2014-02-21 17:26 下载量：4

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文中展示了XY闭环扫描的高重复性。实验中在150×150nm范围内对鲸蜡醇棕榈酸酯上复杂结构进行两次重复扫描，两次扫描结果可以非常好地重合起来。

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HORIBA（中国）

白金会员 | 第22年

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