椭偏光谱仪在TFT－LCD显示器中的应用

2004/08/02   下载量： 720 次

方案摘要

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应用领域 地矿
检测样本 地矿
检测项目
参考标准 无

椭偏仪是一种无损的薄膜表征方法，它可针对单层或多层光学薄膜给出膜厚、折射率、消光系数、甚至材料的带隙等丰富信息。并可表征膜中的各向异性、渐变、孔隙率等各种不均匀性。本文中，使用椭偏仪表征了TFT-LCD显示器件中透明电、液晶及a-Si各膜层。分析了透明电中的渐变层、液晶的各向异性、及a-Si的n型掺杂。

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配置单
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文献贡献者

HORIBA（中国）
白金会员 丨 第22年
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