方案摘要
方案下载应用领域 | 半导体 |
检测样本 | 集成电路 |
检测项目 | |
参考标准 | 碳化硅 4H SiC 半 半导体 共聚焦拉曼 |
徐老师团队主要利用共聚焦拉曼对半导体的两个重要参数进行 了分析: 1. EPI 层厚度 ,因为不同的半导体器件对于外延 EPI 层厚度的要求并不相同,因此,获知 EPI 厚度并对其 进 行准确控制 是制备半导体器件的重要一步。 2. 载流子浓 度 ,作为一个重要的电学性能参数,研究这一浓度分布情 况,也可以帮助优化半导体的加工参数,比如指导离子注 入剂量、退火温度和时间等关键加工参数的调控。
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