共聚焦拉曼+4H-SiC+EPI厚度，载流子浓度

2020/08/05   下载量： 3 次

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应用领域 半导体
检测样本 集成电路
检测项目
参考标准 碳化硅 4H SiC 半 半导体 共聚焦拉曼

徐老师团队主要利用共聚焦拉曼对半导体的两个重要参数进行 了分析： 1. EPI 层厚度 ，因为不同的半导体器件对于外延 EPI 层厚度的要求并不相同，因此，获知 EPI 厚度并对其 进 行准确控制 是制备半导体器件的重要一步。 2. 载流子浓 度 ，作为一个重要的电学性能参数，研究这一浓度分布情 况，也可以帮助优化半导体的加工参数，比如指导离子注 入剂量、退火温度和时间等关键加工参数的调控。

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文献贡献者

HORIBA（中国）
白金会员 丨 第22年
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