基于50年的扫描电镜研发经验,16-17下半财年伊始,日本电子株式会社发布了具有颠覆性设计的场发射扫描电镜JSM-IT300HR,并且在今年的法国欧洲里昂举行的电镜会上进行了JSM-IT300HR实机展示,大受好评。
作为业内第一款易用型场发射扫描电镜,JSM-IT300HR拥有众多领先业界的特性:
1) 摆脱了冷却循环水和空气压缩机,更不需要氮气瓶。第一次在场发射扫描电镜上实现只要有电源就可以安装。
2) 样品仓超大,12英寸硅片(300mm直径)可直接放入观察。重样品可五轴方向移动。具有12个扩展接口。
3) 标配低真空(可变压力)模式,兼顾材料科学与生命科学样品。
4) 触摸屏点击操作,可摆脱键盘鼠标的束缚,实现远程操作。
5) JEOL是世界上唯一同时生产电子显微镜和X射线能谱仪的厂家,哪怕是球差校正TEM上,JEOL的EDS技术也可以轻松实现原子级的分辨率。现在,JEOL将这种技术移植到SEM上来,JSM-IT300HR可配置一体化分析系统,实现一台显示器无缝切换SEM/EDS。
6) 支持蒙太奇与光电光联显微镜技术。
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