光电器件null检测 | XPS在半导体材料的应用-赛默飞世尔科技电子显微镜

方案摘要

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XPS 一般用于分析材料表面、薄膜材料和一些界面材料的元素信息。该技术无需外部校准便可得到量化的结果，很少需要或无需样品制备。XPS的应用十分广泛，包含教学研究、工业研发和第三方实验室的质量监测和控制等等。

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配置单

方案详情

关于 X射线光电子能谱（XPS）的一些简单描述：

• 测量表面以下 5 –10 nm 的元素信息

• 对 Li 及以上的元素进行成分定性及价态分析

• 可进一步得到定量的化学信息

• 测量的极限 ~ 0.1 at%

• 角分辨ARXPS可以对薄层材料进行元素成分的深度剖析

• 成像模式分析样品表层元素的组成分布及化学价态分布

XPS 一般用于分析材料表面、薄膜材料和一些界面材料的元素信息。该技术无需外部校准便可得到量化的结果，很少需要或无需样品制备。XPS的应用十分广泛，包含教学研究、工业研发和第三方实验室的质量监测和控制等等。这些领域的应用包括：

• 分析样品表面的污染情况

• 薄膜材料和样品表面氧化层的厚度测量

• 表征材料表面的杂质、染色、变色情况

• 表面制备、清洗的效果分析

• 粉末和纤维材料的成分分析

• 等离子体改性聚合物材料的化学特性

• 涂层厚度的测量和合格检测

• 对多层材料和界面材料进行深度剖析测量

文献贡献者

赛默飞世尔科技电子显微镜

金牌会员丨第20年

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