型号: | FPD-PVD |
产地: | 台湾 |
品牌: | 矽碁科技 |
评分: |
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因产品配置不同, 价格货期需要电议, 图片仅供参考, 一切以实际成交合同为准
磁控溅镀设备 FPD-PVD
随着 LCD 面板和制造所需玻璃的尺寸的增加, 制造设备也随着变得更大, 需要越来越大的设备投资. 上海伯东代理磁控溅镀设备 FPD-PVD 针对中小尺寸的需求开发串集的 PVD 设备, 拥有 4个单独的溅镀腔体, 让客户能任意搭配沉积的材料, 同时保有弹性和具有选择性的系统.
配置和优点
客制化基板尺寸最大为 550 x 650 mm2(玻璃)
薄膜均匀度小于±5%
稳定的温度控制, 可将基板加热到 400°C
选件
C assette 传送站
基材电浆清洁
OES, RGA 或制程监控的额外备用端口
应用领域
TFT-LCD
太阳能电池
触碰屏氧化物, 氮化物和金属材料的研究
若您需要进一步的了解上海伯东磁控溅射镀膜机, 请联络上海伯东叶女士
qq: 2821409400
现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东 叶女士
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