上海伯东德国普发Pfeiffer 涡轮分子泵成功应用于磁控溅射

2015-01-08 10:21 下载量：6

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上海伯东代理德国普发 Pfeiffer 涡轮分子泵 Hipace 700 成功应用于宁波某研究所磁控溅射（Megnetron Sputtering）系统.宁波某研究所磁控溅射（Megnetron Sputtering）系统用于光刻胶片上溅金属铬,铜,钛.其中材料生长腔工作真空度要求 < E-7 hPa,能做到4英寸片,3靶位,可实现编程镀膜.材料生长腔对涡轮分子泵的要求较高,老师在考量了德国普发 Pfeiffer Hipace 700 涡轮分子泵和爱德华 Edwards STP603 分子泵后,因为对分子泵的压缩比要求较高,最终选择了德国普发 Pfeiffer 分子泵

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文献贡献者

伯东公司德国普发真空pfeiffer

金牌会员 | 第17年

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伯东普发pfeiffer 分子泵组吡啶红外抽真空

简介：吡啶红外吸附测试主要目的是测量样品表面酸的类型(L、B酸)。吡啶红外测试首先要在高温真空条件下预处理样品，对样品进行抽真空处理，然后吸附，脱附，真空度至少要<10-3Pa，才能做真空加热原位处理。整套设备对真空泵的性能要求较高。