上海伯东普发涡轮分子泵组脉冲激光沉积系统应用

2015-01-09 11:29 下载量：7

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脉冲激光沉积（Pulsed Laser Deposition, PLD），是一种利用激光对物体进行轰击，然后将轰击出来的物质沉淀在不同的衬底上, 得到沉淀或者薄膜的一种手段. PLD 系统由多个真空腔体组成，整个系统需要超高真空且不能引入任何杂质，对环境的清洁度要求较高，必须配备无油干泵和分子泵抽真空。由于各个辅助腔体体积较小, 因此特别适合使用 pfeiffer Hicube 系列分子泵组. 伯东公司销售维修的 Pfeiffer 分子泵组因其结构紧凑体积小，清洁无油（前级泵配备干泵）、抽速快、极限真空度高达10-11mbar等优点一经上市好评如潮。

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文献贡献者

伯东公司德国普发真空pfeiffer

金牌会员 | 第17年

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伯东普发pfeiffer 分子泵组吡啶红外抽真空

简介：吡啶红外吸附测试主要目的是测量样品表面酸的类型(L、B酸)。吡啶红外测试首先要在高温真空条件下预处理样品，对样品进行抽真空处理，然后吸附，脱附，真空度至少要<10-3Pa，才能做真空加热原位处理。整套设备对真空泵的性能要求较高。