伯东pfeiffer氦质谱检漏仪 MOCVD 设备检漏

2015-08-17 09:06  下载量:1

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MOCVD 是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。因为 MOCVD 生长使用的源是易燃、易爆、毒性很强的物质,因此在设备出厂时必须要考虑密封性,否则一旦有毒物质泄漏,后果不堪设想

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