某锂硫电池制造商采用伯东KRI 考夫曼射频离子源 RFICP380 辅助溅射沉积制备锂硫电池正极片.
伯东 KRI 射频离子源 RFICP380 技术参数:
射频离子源型号 | RFICP380 |
Discharge 阳极 | 射频 RFICP |
离子束流 | >1500 mA |
离子动能 | 100-1200 V |
栅极直径 | 30 cm Φ |
离子束 | 聚焦, 平行, 散射 |
流量 | 15-50 sccm |
通气 | Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
典型压力 | < 0.5m Torr |
长度 | 39 cm |
直径 | 59 cm |
中和器 | LFN 2000 |
工艺流程:
该正极片的制备在离子束溅射室内进行, 将铝箔作为基片, 将定量的块体硫和块体碳作为靶材.
在开始工艺前, 需要将离子束溅射室抽真空后, 然后利用KRI 射频离子源 RFICP380 将通入的氩气离化为氩离子, 氩离子束以不同的功率交替轰击块体硫和块体碳, 将硫原子和碳原子分别溅射出来, 沉积到铝箔表面, 即获得带有硫碳复合材料的锂硫电池正极片.
KRI 射频离子源 RFICP380 特性:
1. 大面积射频离子源
2. 提供高密度离子束, 满足高工艺需求
3. 采用射频技术产生离子, 无需电离灯丝, 工艺时间更长, 更适合时间长的工艺要求
4. 离子束流: >1500 mA
5. 离子动能: 100-1200 V
6. 中和器: LFN 2000
7. 采用自动控制器, 一键自动匹配
8. RF Generator 可根据工艺自行选择离子浓度, EX: 1kW or 2kW
9. 离子源采用模块化设计, 方便清洁/ 保养/ 维修/ 安装
10. 栅极材质钼和石墨, 坚固耐用
11. 通入气体可选 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others
为了给离子束溅射室提供 10-4 Pa真空度, 该制造商采用伯东 Pfeiffer 涡轮分子泵 Hipace 700抽真空. 其技术参数如下:
2707-Operating voltage: V DC | 48 (± 5 %) V DC |
Ar 的压缩比 | > 1 · 1011 |
Ar 的抽速 | 665 l/s |
Ar 的最终转速时的气体流量 | 3.5 hPa l/s | 2.62 Torr l/s | 3.5 mbar l/s |
H2 的压缩比 | 4 · 105 |
H2 的抽速 | 555 l/s |
H2 的最终转速时的气体流量 | > 14 hPa l/s | > 10.5 Torr l/s | > 14 mbar l/s |
He 的压缩比 | 3 · 107 |
He 的抽速 | 655 l/s |
He 的最终转速时的气体流量 | 10 hPa l/s | 7.5 Torr l/s | 10 mbar l/s |
I/O 接口 | RS-485, 远程, Profibus |
N2 的压缩比 | > 1 · 1011 |
N2 的抽速 | 685 l/s |
N2 的最大预真空 | 11 百帕 |
N2 的最终转速时的气体流量 | 6.5 hPa l/s | 4.88 Torr l/s | 6.5 mbar l/s |
不带气镇的最终压力 | 1 · 10-7 百帕 |
允许冷却水的温度 | 15 – 35 °C 摄氏度 |
冷却水消耗最小值 | 100 l/h |
冷却水耗量 | 100 l/h |
冷却类型, 可选项 | 空气 |
冷却类型, 标准 | 水 |
声压水平 | ≤50 dB(A) 分贝 (A) |
安装方向 | 任何 |
排气连接 | G 1/8" |
接口, 扩展 | Profibus |
方位 | 混合动力 |
最大允许磁场 | 6 mT |
根据 PNEUROP 的最终压力 | < 1 · 10-7 百帕 |
电子驱动单元 | 带有 TC 400 |
电流最大值 | 8,75 A |
耗电量 max. | 420 瓦 |
转速 ± 2 % | 49,200 rpm | 49,200 min-1 |
转速可变化 | 60 – 100 % |
运行时间 | 2 分 |
连接法兰(入口) | DN 160 ISO-F |
连接法兰(出口) | DN 25 ISO-KF/G ¼" |
重量 | 12.1 千克 |
防护等级 | IP54 |
运行结果:
能够精确控制溅射量, 获得混合均匀的硫碳复合材料.
若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东: 罗先生 台湾伯东: 王女士
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
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