氦质谱检漏仪 ASM 340D 高真空排气台密封性泄露检测

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氦质谱检漏仪高真空排气台密封性泄露检测
上海伯东某客户生产研发多工位高真空和超高真空排气台, 实现多工位同时抽真空的效果, 真空度需要稳定在 -7 mbar, - 8 mbar, 包含真空系统在内的多个组件, 均需要进行密封性泄露测试, 以保证高真空性能. 经过上海伯东推荐真空系统核心组件分子泵选用德国 Pfeiffer HiPace 系列, 并使用
无油干式氦质谱检漏仪 ASM 340D 对整个排气台进行密封性检漏.

高真空排气台真空系统组成
涡轮分子泵 HiPace 80, HiPace 300, Hicube 80 ECO

分子泵型号

HiPace 80

HiPace 300

Hicube 80 ECO
(分子泵组, 集成前级泵)

图片

普发分子泵 HiPace 80 neo

涡轮分子泵 HiPace 300

普发涡轮分子泵

氮气抽速 L/S

67

260

67

极限真空 mbar

<5X10-10

<5X10-10

<1X10-8

* 真空规: PKR 251, CMR 361

超高真空排气台检漏方法
排气台管路预留 KF 25 法兰(或在分子泵和前级泵间预留), 通过波纹管与
氦质谱检漏仪 ASM 340D 连接, 真空模式下, 漏率值设定为 10-7 mbar l/s. 用喷枪在怀疑有漏的部位进行吹扫. 如果超过设定的漏率值, 检漏仪会时时报警并显示当前漏率.

上海伯东销售维修无油干式
氦质谱检漏仪 ASM 340D 与传统泡沫检漏和压差检漏对比, 在提供无损快速检漏的同时可以检测出更小的漏率 1X10-12 mbar l/s, 利用氦气作为示踪气体可定位, 定量漏点.

无油干式氦质谱检漏仪 ASM340D

型号

ASM 340D

对氦气的最小检测漏率

1X10-12 mbar l/s

检测模式

真空模式和吸枪模式

检测气体

4He, 3He, H2

启动时间 min

3

对氦气的抽气速度 l/s

2.5

进气口最大压力 hPa

25

前级泵抽速 m3/h

无油隔膜泵 3.4

45

45


结合了 Pfeiffer 与 Adixen 两家检漏仪的技术优势, 上海伯东德国 Pfeiffer 推出全系列新型号氦质谱检漏仪, 从便携式检漏仪到工作台式检漏仪满足各种不同的应用. 氦质谱检漏仪替代传统泡沫检漏和压差检漏, 利用氦气作为示踪气体可定位, 定量漏点. 氦质谱检漏仪满足单机检漏, 也可集成在检漏系统或 PLC. 推荐氦质谱检漏仪应用 >>

鉴于客户信息保密, 若您需要进一步的了解氦质谱检漏仪, 请参考以下联络方式
上海伯东: 叶女士                                   台湾伯东: 王女士
T: +86-21-5046-3511 ext 107              T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                            F: +886-3-567-0049
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 )      M: +886-975-571-910
qq: 2821409400 

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