半导体后端工艺制程中需要使用到例如 Ar, O2 或是其他特殊气体,气体管路系统(真空管路)的作用是把各种气体在满足工艺制程要求的纯度, 压力和流量的前提下安全稳定的供应到工艺设备内. 上海伯东美国 HVA 插板阀广泛用于高真空或超高真空的气体输送环节, 用来改变气流方向, 调节气流量大小, 切断或接通管路, 起到真空隔离密封等作用. 美国 HVA 6寸, 8寸 真空插板阀已广泛应用于半导体气体管路中!
为什么选择伯东?
伯东公司成立于1953 年,超过65年历史。
上海伯东所有产品保证100%原装进口,拥有强大售后服务团队,拥有完全的拆解,维修,校正能力并提供24小时在线服务。
上海伯东是美国 HVA 插板阀在中国地区唯一指定总代理商.
上海伯东美国 HVA 插板阀优势:
满足高真空(1E10-9 mabr)和超高真空(1E10-10 mbar)应用;
HVA 闸阀口径 DN 16 至 800 mm;
坚固耐用,超长使用寿命,可达1,000,000 启动次数;
清洁和高密封性保证 HVA 进口阀门与低温泵、涡轮分子泵,离子泵等完美联用;
双向密封,最小漏率 < 2x10-9 mbar l/S;
可选择驱动方式多,手, 气, 电动可选;
有效保护分子泵。气动和电动均带信号反馈装置, 与分子泵和腔体连用时可以起到截断一些特殊气体, 保护分子泵的作用;
标准或定制法兰满足不同应用;
国际标准,全部美国设计, 制造, 组装, 原装进口。
美国 HVA 超过40年的阀门研发生产经验,与友厂对比,HVA 闸阀阀体和部件均是在真空炉中一体钎焊完成, 消除了虚漏的可能.
在售产品:
上海伯东是德国 Pfeiffer 真空设备, 美国 KRI 考夫曼离子源, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 Ambrell 感应加热设备和日本 NS 离子蚀刻机等进口知名品牌的指定代理商 .我们真诚期待与您的合作!
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