上海伯东德国 Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 推出气密离子源型号, 适合与进气系统组合使用, 并具有低气体消耗和高信噪比的特点. 残余气体分析仪 PrismaPro 模块化设计满足多种应用: 例如工业 ( 冷冻干燥 )和分析仪器, 研发, 半导体生产和真空镀膜技术等.
Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 技术参数:
型号 | QMG 250 F1 | QMG 250 F2 | QMG 250 F3 | QMG 250 M1 | QMG 250 M2 | QMG 250 M3 | |
检测器 | 法拉第 Faraday (F) | 电子倍增器/法拉第 C-SEM / Faraday (M) | |||||
质量数 amu | 1–100 | 1–200 | 1–300 | 1–100 | 1–200 | 1–300 | |
四极杆直径/长度 | 6 / 125 mm | ||||||
最小检测极限 F hPa *1,2 | 4X10-13 | 5X10-13 | 7X10-13 | - | - | - | |
最小检测极限 M hPa *1,2 | - | - | - | 3X10-15 | 4X10-15 | 5X10-15 | |
对Ar的灵敏度 F A/hPa*3 | 5X10-4 | 4X10-4 | 3X10-4 | 5X10-4 | 4X10-4 | 3X10-4 | |
最大工作压力 F hPa | 5X10-4 | ||||||
最大工作压力 M hPa | - | - | - | 5X10-5 | 5X10-5 | 5X10-5 | |
对临近质量数的影响*1 | < 10 ppm | < 20 ppm | < 50 ppm | < 10 ppm | < 20 ppm | < 50 ppm | |
操作温度 分析 | 200 °C (max. 150 °C when operating with SEM) | ||||||
操作温度 电子 | 5 – 50 °C | ||||||
烘烤温度 分析 | 300 °C | ||||||
连接法兰 | DN 40 CF-F | ||||||
保压时间 | 1 ms – 16 s/amu | ||||||
重量 | 2.5 kg | 3.2 kg |
* 1 开放式离子源
* 2 停留时间 4秒
* 3 与 C-SEM 相比, 具有较高的灵敏度
若您需要进一步的了解残余气体分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东:罗女士
上海伯东代理 Pfeiffer 普发检漏仪维修保养服务
分子泵维修|分子泵启动不了或刚一启动就报警,怎么解决
伯东代理普发分子泵常见问题
伯东代理Pfeiffer 旋片泵日常保养及常见故障
相关产品
inTEST 热流仪 5G 通讯模块高低温冲击测试
聚丙烯 PP膜等离子表面亲水改性设备
气体和液体过滤介质用低压等离子表面处理设备
微控制器 MCU 芯片高低温测试机,美国 inTEST 热流仪
美国 inTEST 汽车芯片用高低温测试机,热流仪
功率器件高低温冲击测试机,美国 inTEST 热流仪
PMMA 亚克力板等离子表面活化机
IBF 离子束抛光工艺用考夫曼离子源
IBAD 辅助镀膜用考夫曼离子源
LED-DBR 辅助镀膜用离子源
上海伯东美国 KRi 大面积射频离子源 RFICP 380
上海伯东美国 KRi 霍尔离子源 eH 3000
上海伯东美国 KRI 霍尔离子源 ,霍尔源eH 2000
上海伯东美国 KRI 霍尔离子源 eH 1000
KRI 霍尔离子源, 霍尔源,eH 400
关注
拨打电话
留言咨询