方案摘要
方案下载应用领域 | 半导体 |
检测样本 | 其他 |
检测项目 | |
参考标准 | 半导体管路用减压阀门漏率要求真空模式下< 1X10-8 mbar l/S |
上海伯东氦质谱检漏仪客户案例:减压器主要用于半导体管路中气体减压,调节气体压力,减压器要求在真空模式下漏率小于 1X10-8 mbar l/S
上海伯东氦质谱检漏仪客户案例: 减压器主要用于半导体管路中气体减压, 调节气体压力, 减压器要求在真空模式下漏率小于 1X10-8 mbar l/S
减压器检漏方法: 选用氦质谱检漏仪真空模式进行检漏, 减压器直接与检漏仪进气口相连, 用喷枪在怀疑有漏的地方进行吹扫
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