氦质谱检漏仪焊接电磁阀检漏

2022/08/22   下载量: 0

方案摘要

方案下载
应用领域 机械设备
检测样本 泵/阀门/压缩机
检测项目
参考标准 /

上海伯东某客户是日本半导体设备厂精密零件供应商, 生产的镭射焊接电磁阀用于半导体设备上, 由于半导体工业上用的气体如矽烷 SiH4, 氨气 NH3 等等都是有毒或有腐蚀性的气体, 所以对所用的阀及相关部件, 漏率要求非常严格, 要求电磁阀成品最终漏率低于 5-10 mbar l / s, 经过伯东推荐采用氦质谱检漏仪 ASM 340 完成电磁阀阀芯的泄漏检测.

方案下载
配置单
方案详情


氦质谱检漏仪电磁阀检漏
上海伯东某客户是日本半导体设备厂精密零件供应商, 生产的镭射焊接电磁阀用于半导体设备上, 由于半导体工业上用的气体如矽烷 SiH4, 氨气 NH3 等等都是有毒或有腐蚀性的气体, 所以对所用的阀及相关部件, 漏率要求非常严格, 要求电磁阀成品最终漏率低于 5-10 mbar l / s, 经过伯东推荐采用氦质谱检漏仪 ASM 340 完成电磁阀阀芯的泄漏检测.

电磁阀阀芯需要检漏:
客户生产的电磁阀阀芯, 经过镭射焊接后, 怀疑焊缝存在微小的泄漏, 单个阀芯最终漏率需要低于 5-10 mbar l / s.



电磁阀阀芯检漏方法
  料先用放大镜目视检测, 阀芯镭射焊接完成后再目视检测, 最后用氦质谱检漏仪检漏, 漏率值以检漏仪检测的数据作为标准.
一共有5个型号, 月产量 2000-3000 .

电磁阀阀芯检漏操作说明
1. 先将阀接入工装, 形成一个密闭的腔体. 再将检漏仪连接到工装上.
2. 启动氦质谱检漏仪, 真空模式下,设置漏率值 5-10 mbar l / s, 检漏仪开始抽取密闭腔体中的气体, 同时显示一个漏率值.
3. 在电磁阀镭射焊缝和怀疑有漏的地方喷氦气, 同时观察检漏仪上显示的漏率值有无变化.
4. 如果漏率值上升, 说明喷氦气的地方有漏, 该被检对象品质不合格. 如果漏率值能达到要求, 该被检物件合格, 检漏检测完成.




结合了 Pfeiffer 与 Adixen 两家检漏仪的技术优势, 上海东德国 Pfeiffer 推出全系列新型号氦质谱检漏仪, 从便携式检漏仪到工作台式检漏仪满足各种不同的应用. 氦质谱检漏仪替代传统泡沫检漏和压差检漏, 利用氦气作为示踪气体可精确定位, 定量漏点. 氦质谱检漏仪满足单机检漏, 也可集成在检漏系统或 PLC. 推荐氦质谱检漏仪应用 >>

鉴于客户信息保密, 若您需要进一步的了解电磁阀检漏, 请参考以下联络方式
上海伯东: 罗先生

上一篇 普发 Pfeiffer 真空计 维修校准服务
下一篇 氦质谱检漏仪变压器检漏

文献贡献者

相关仪器 更多
相关方案
更多

相关产品

当前位置: 上海伯东 方案 氦质谱检漏仪焊接电磁阀检漏

关注

拨打电话

留言咨询