氦质谱检漏仪减压器检漏

2022/08/22   下载量: 0

方案摘要

方案下载
应用领域 机械设备
检测样本 泵/阀门/压缩机
检测项目
参考标准 /

减压器, 又称减压阀门, 是将高压气体降为低压气体, 并保持输出气体的压力和流量稳定不变的调节装置. 主要应用于半导体管路或实验室压力控制. 减压器本身如果出现泄漏, 会直接导致高压气体泄漏, 一旦气体属于有毒有害气体, 将导致严重的生产事故! 因此减压器在出厂前必须经过严格的泄漏检测, 氦质谱检漏法与传统泡沫法对比, 利用氦气作为示踪气体可精确定位, 定量漏点, 在真空模式下, 可以显示 1X10-12 mbar l/s 的漏率值, 上海伯东氦质谱检漏仪现已广泛应用于减压阀检漏

方案下载
配置单
方案详情


氦质谱检漏仪减压器检漏


  压器, 又称减压阀门, 是将高压气体降为低压气体, 并保持输出气体的压力和流量稳定不变的调节装置. 主要应用于半导体管路或实验室压力控制. 减压器本身如果出现泄漏, 会直接导致高压气体泄漏, 一旦气体属于有毒有害气体, 将导致严重的生产事故! 因此减压器在出厂前必须经过严格的泄漏检测, 氦质谱检漏法与传统泡沫法对比, 利用氦气作为示踪气体可精确定位, 定量漏点, 在真空模式下, 可以显示 1X10-12 mbar l/s 的漏率值, 上海伯东氦质谱检漏仪现已广泛应用于减压阀检漏




上海伯东减压器检漏客户案例:


某公司生产减压器, 主要用于半导体管路中气体减压, 调节气体压力, 减压器要求在真空模式下漏率小于 1X10-8 mbar l/S, 经过伯东推荐, 最终选择前级泵为干泵的移动型氦质谱检漏仪 ASM 390



减压器检漏方法: 选用氦质谱检漏仪真空模式进行检漏, 减压器直接与检漏仪进气口相连, 用喷枪在怀疑有漏的地方进行吹扫, 鉴于客户信息保密, 更详细的减压器检漏应用案例, 欢迎拨打客服热线



上海东德国 Pfeiffer 移动型氦质谱检漏仪 ASM 390

1. 检漏仪配有干式非接触式前级真空泵和涡轮分子泵, 满足半导体行业要求!

2. 检测气体: 4He, 3He, H2

3. 最小检测漏率: 真空模式: 1X10-12 mbar l/s

4. 吸枪模式: 1X10-8 mbar l/s

5. 对氦气的抽速: 10 l/s

6. 前级泵抽速: 35 m3/h


氦质谱检漏仪应用推荐:


半导体用配管配件检漏
应用于半导体厂务端高端不锈钢管, 配件, 阀门和歧管, 产品漏率值需要达到 10-9 mar l/s. 采用氦质谱检漏仪 ASM 390 进行检漏

流量计检漏
采用氦质谱检漏仪 ASM 340 对流量计的主体金属外壳进行检漏, 外壳焊缝和接头部位都需要进行检漏


结合了 Pfeiffer 与 Adixen 两家检漏仪的技术优势, 上海东德国 Pfeiffer 推出全系列新型号氦质谱检漏仪, 从便携式检漏仪到工作台式检漏仪满足各种不同的应用. 氦质谱检漏仪替代传统泡沫检漏和压差检漏, 利用氦气作为示踪气体可精确定位, 定量漏点. 氦质谱检漏仪满足单机检漏, 也可集成在检漏系统或 PLC. 推荐氦质谱检漏仪应用 >>

鉴于客户信息保密, 若您需要进一步的了解减压器检漏, 请参考以下联络方式
上海伯东: 罗先生

上一篇 普发 Pfeiffer 真空计 维修校准服务
下一篇 氦质谱检漏仪半导体用配管配件检漏

文献贡献者

相关仪器 更多
相关方案
更多

相关产品

当前位置: 上海伯东 方案 氦质谱检漏仪减压器检漏

关注

拨打电话

留言咨询