氦质谱检漏仪半导体配件检漏

2022/08/23   下载量： 0 次

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应用领域 半导体
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某专门生产半导体配件公司, 高端不锈钢管, 配件, 阀门和歧管广泛应用于半导体行业, 因半导体行业的苛刻使用要求, 产品漏率值需要达到 10-9mar l/s, 因此需要进行泄漏检测, 已验收管件是否达标. 客户对检漏效率要求较高, 需要在生产线使用且方便移动操作, 经过上海伯东推荐最终选择移动型氦质谱检漏仪 ASM 390.

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氦质谱检漏仪半导体配件检漏


  某专门生产半导体配件公司, 高端不锈钢管, 配件, 阀门和歧管广泛应用于半导体行业, 因半导体行业的苛刻使用要求, 产品漏率值需要达到 10-9mar l/s, 因此需要进行泄漏检测, 已验收管件是否达标. 客户对检漏效率要求较高, 需要在生产线使用且方便移动操作, 经过上海伯东推荐最终选择移动型氦质谱检漏仪 ASM 390.

待检漏产品:



半导体配件检漏方法: 


根据待检漏产品特性, 选择真空法来检漏, 设定好漏率值,用检漏仪直接连接待检漏配件, 检漏仪将检测配件内部的气体抽到一定的真空度, 然后氦气通过喷枪吹扫在部件的外表面. 可直观定位漏点, 移动型氦质谱检漏仪 ASM 390 符合人体工学设计, 移动性强, 完全符合 Semi S2 标准！


上海伯东德国 Pfeiffer 移动型氦质谱检漏仪 ASM 390


  针对大型检漏部件设计研发, 检漏仪配有干式非接触式前级真空泵和涡轮分子泵, ASM 390 对氦气的快速抽空能力和较短的响应时间, 可以加速泄漏检测流程, 降低生产设备的停机时间！


检测气体

4He, 3He, H2

最小检测漏率

真空模式: 1X10-12 mbar l/s

吸枪模式

1X10-8 mbar l/s

对氦气的抽速

10 l/s

前级泵抽速

35 m3/h


鉴于客户信息保密, 若您需要进一步的了解半导体配件检漏方案, 请参考以下联络方式
上海伯东: 罗先生

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文献贡献者

伯东公司德国普发真空pfeiffer
金牌会员 丨 第17年
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