方案摘要
方案下载应用领域 | 电子/电气 |
检测样本 | 电子元器件产品 |
检测项目 | |
参考标准 | / |
上海伯东代理德国 Pfeiffer 多功能多用途氦质谱检漏仪 ASM 340 成功应用于 PECVD 设备检漏 PECVD: ( Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 等离子体增强化学气相沉积法 )是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离, 在局部形成等离子体, 而等离子体化学活性很强, 很容易发生反应, 在基片上沉积出所期望的薄膜. 为了使化学反应能在较低的温度下进行, 利用了等离子体的活性来促进反应, 因而这种 CVD 称为等离子体增强化学气相沉积 (PECVD).
氦质谱检漏仪 PECVD 检漏
上海伯东代理德国 Pfeiffer 多功能多用途氦质谱检漏仪 ASM 340 成功应用于 PECVD 设备检漏
PECVD: ( Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 等离子体增强化学气相沉积法 )是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离, 在局部形成等离子体, 而等离子体化学活性很强, 很容易发生反应, 在基片上沉积出所期望的薄膜. 为了使化学反应能在较低的温度下进行, 利用了等离子体的活性来促进反应, 因而这种 CVD 称为等离子体增强化学气相沉积 (PECVD).
PECVD 检漏原因:
PECVD 工作环境需要两个必要条件: 低温和真空, 由于 PECVD 结构复杂, 组成部分较多, 各组件通过各种法兰接口连接, 当长时间运行时可能造成接口或管路松动, 设备漏气, 导致真空度抽不下来, 影响沉积薄膜的质量, 这时就需要通过检漏来排查漏点. 常规的检漏如涂肥皂水等方法, 耗时耗力且精度低, 容易受操作人员干扰, 所以利用氦质谱检漏仪的排查方法越来越广泛使用.
上海伯东 PECVD 设备检漏仪客户案例一:
中科院某研究所, 通过采购上海伯东德国 Pfeiffer 机械泵 Pfeiffer DUO 20 和分子泵 Hipace 1200 联用获得稳定的高真空并追加采购检漏仪, 满足日常检漏需要.
PECVD 检漏方法: 采用检漏仪的真空法进行检漏, 对怀疑有漏的地方喷氦气, 如果检漏仪报警, 则表明此处有漏! 伯东客户中科院某研究所目前现有多台旧款 Adixen ASM 142 检漏仪, 因为设备增加, 在经过工程师推荐后采购检漏仪 ASM 340.
上海伯东 PECVD 设备检漏仪客户案例二:
某电子材料有限公司生产太阳能硅片, 高效 N型太阳能电池等, 生产设备采用荷兰TEMPRESS PECVD, 依照工艺要求, 在1分钟的测试时间内, 压力变化不能超过 4mtorr, 否则就要检漏. 氦质谱检漏仪主要用来定位漏点, 针对进出气管道, 焊接处, 法兰都位置进行检漏 ,一般漏率要求在 1.0×10-8 mbarl/s.
* 鉴于信息保密,更详细的 PECVD 检漏方法,欢迎拨打客服热线。
若您需要进一步的了解详细信息或讨论,请参考以下联络方式:
上海伯东:罗先生
上海伯东 Europlasma 等离子表面处理设备在医疗器械行业的应用
上海伯东 Europlasma 纳米亲水涂层在氢燃料电池外壳中的应用
上海伯东 Europlasma 低压等离子设备在气体和液体过滤介质中的应用
相关产品
inTEST 热流仪 5G 通讯模块高低温冲击测试
聚丙烯 PP膜等离子表面亲水改性设备
气体和液体过滤介质用低压等离子表面处理设备
微控制器 MCU 芯片高低温测试机,美国 inTEST 热流仪
美国 inTEST 汽车芯片用高低温测试机,热流仪
功率器件高低温冲击测试机,美国 inTEST 热流仪
PMMA 亚克力板等离子表面活化机
IBF 离子束抛光工艺用考夫曼离子源
IBAD 辅助镀膜用考夫曼离子源
LED-DBR 辅助镀膜用离子源
上海伯东美国 KRi 大面积射频离子源 RFICP 380
上海伯东美国 KRi 霍尔离子源 eH 3000
上海伯东美国 KRI 霍尔离子源 ,霍尔源eH 2000
上海伯东美国 KRI 霍尔离子源 eH 1000
KRI 霍尔离子源, 霍尔源,eH 400
关注
拨打电话
留言咨询