方案摘要
方案下载应用领域 | 半导体 |
检测样本 | 其他 |
检测项目 | |
参考标准 | / |
上海伯东德国普发 Pfeiffer 氦质谱检漏仪成功应用于深圳某半导体设备生产商, 此次共采购 5台德国 Pfeiffer 氦质谱检漏仪,用于流量控制阀 MFC 检漏.
氦质谱检漏仪半导体流量控制阀 MFC 检漏
上海伯东德国普发 Pfeiffer 氦质谱检漏仪成功应用于深圳某半导体设备生产商, 此次共采购 5台德国 Pfeiffer 氦质谱检漏仪,用于流量控制阀 MFC 检漏.
流量控制阀 MFC 主要用于对气体的质量流量进行精密测量和控制. 流量控制阀 MFC 在半导体和集成电路工业, 特种材料学科, 化学工业, 石油工业和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用.
伯东公司客户主要生产流量控制阀 MFC, 由于产品的特殊性. 对密封性要求特别高,达5E-11 Pa m3/s,选用其他氦质谱检漏仪根本达不到实际生产测量要求, 或者生产效率特别低下,经过实际论证, 最终确定选用上海伯东 Pfeiffer 氦质谱检漏仪.
伯东公司德国普发 Pfeiffer氦质谱检漏仪 ASM 340 采用触屏设计, 中文操作界面, 使用业界最新工艺设计生产, 具有坚固耐用, 操作简单, 抽气速度快, 数据可靠等特点. 伯东公司协助客户选型并提供完善的售后服务.
氦质谱检漏仪 ASM 340 技术参数:
型号 | ASM 340 W | ASM 340 D | ASM 340 I |
对氦气的最小检测漏率 | 5E-13 Pa m3/s | 5E-13 Pa m3/s | 5E-13 Pa m3/s |
检测模式 | 真空模式和 吸枪模式 | 真空模式和 吸枪模式 | 真空模式和 吸枪模式 |
检测气体 | 4He, 3He, H2 | 4He, 3He, H2 | 4He, 3He, H2 |
启动时间 min | 3 | 3 | 3 |
对氦气的抽气速度 l/s | 2.5 | 2.5 | 2.5 |
进气口最大压力 hPa | 25 | 25 | 5 |
前级泵抽速 m3/h | 油泵 15 | 隔膜泵 3.4 | 不含前级泵 |
重量 kg | 56 | 45 | 32 |
若您需要进一步的了解氦质谱检漏仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式
上海伯东: 罗先生
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