传感器null检测 | 上海伯东氦质谱检漏仪ASM 340W 用于压力传感器芯片检漏-伯东公司德国普发真空pfeiffer

方案摘要

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应用领域	半导体
检测样本	传感器
检测项目
参考标准	/

传统的压力传感器包括电路分析、材料分析和无源器件分析等，即包括MEMS芯片、ASIC芯片、电容、电阻、陶瓷PCB、塑封盖、金属套管等，这些元器件通过焊接工艺封装到一起，这就要求压力传感器的密封性高，在使用过程中不会出现泄漏的问题，行业内负压法检漏漏率是＜1E-10mbarl/s. 上海伯东协助某新能源汽车客户解决了如上测试要求

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配置单

德国普发Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM 340 D
型号：ASM 340 D

¥10万 - 30万
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方案详情

压力传感器芯片中的真空检漏技术:

压力传感器是一种坚固耐用的直接介质压力监测解决方案，专为当今最严苛的压力传感环境而设计，可应用于工业（HVAC系统、工业自动化、过程监控、水位和压力监测等）、汽车（变速箱油压、燃油系统压力等）、医疗（诊断和分析设备）等领域。因为特殊而严苛的工作环境，传统的压力传感器包括电路分析、材料分析和无源器件分析等，即包括MEMS芯片、ASIC芯片、电容、电阻、陶瓷PCB、塑封盖、金属套管等，这些元器件通过焊接工艺封装到一起，这就要求压力传感器的密封性高，在使用过程中不会出现泄漏的问题，行业内负压法检漏漏率是＜1E-10mbarl/s.

压力传感器芯片检漏客户案例:

上海伯东协助某新能源汽车客户解决了如上测试要求, 测试流程如下：

1. 封装好的芯片放在一个密封的腔体1内，内部充3Bar或者更高压力的氦气，保压30min~1h

2. 把芯片从腔体1内取出，用高纯氮气对产品表面吹扫，吹扫后再放置到腔体2内

3. 检漏仪ASM 340W通过管路连接到腔体2，打开检漏仪，设定检漏仪报警精度为1E-10 mbarl/s，开始漏率测试

4. 测试过程中如果检漏仪不报警，判定样品符合漏率要求，如果检漏仪报警，则判定检漏仪不合格

鉴于信息保密，更详细的压力传感器芯片方式欢迎电话联络

上海伯东氦质谱检漏仪 ASM 340W 技术参数：

型号	ASM 340 W
进气口法兰	DN 25 ISO-KF
检测气体	氢气和氦气
对氦气 4He 的最小检测漏率	真空模式: 1X10-12 mbar l/s 吸枪模式: 5X10-9 mbar l/s
检测模式	真空模式 (负压) 和吸枪模式 (正压)
检测气体	4He, 3He, H2
无校准启动时间	约 3 min
响应时间	<1 s
Interface 接口	RS-232, 基本I/O, 现场总线选项和 USB
对氦气的抽气速度	2.5 l/s
进气口最大压力	25 mbar
前级泵抽速	油泵 15 m3/h
工作温度	0-45°C (真空模式)
工作温度	0-40 °C (吸枪模式)
电压	100-110 V AC, 50/60 Hz
电压	200-240 V AC, 50/60 Hz
功耗	850 W
重量	56 kg
尺寸	547x350x389 mm

此检漏系统核心部件是上海伯东代理德国 Pfeiffer ASM 340 质谱氦检漏仪. 上海伯东依据客户实际需要协助设计压力传感器芯片检漏并提供完善的售后维修服务.

上海伯东德国 Pfeiffer普发检漏仪ASM-340优势及应用领域:

氦质谱检漏仪 ASM 340 特性:

1. 前级泵可选油泵或干泵或不配前级泵, 满足各类应用
2. 高压缩比分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 对氦气抽速 2.5 l/s, 检测时间短
3. 氦质谱检漏仪 ASM 340 对氦气的最小检测漏率：
真空模式: 5E-13 Pa m3/s
吸枪模式: 5E-10 Pa m3/s 目前业界公认漏律
4. 最大的进气口压力 25 hPa, 快速进入检漏模式
5. 触摸式人机界面, 7英寸大屏幕高分辨率移动式操作面板, 易操作
6. Usb 端口, 方便数据传输
7. 抗破大气, 抗震动, 降低由操作失误带来的风险性
8. 丰富的可选配件, 如吸枪, 遥控器, 小推车, 旁路装置, 标准漏孔等

氦质谱检漏仪 ASM 340 应用领域:

上海伯东是德国 Pfeiffer 真空设备, 美国 KRI 考夫曼离子源, 美国Gel-pak 芯片包装盒, 美国 inTEST 高低温冲击测试机，日本 NS 离子蚀刻机, 比利时 Stratasys 3D 打印机, 比利时原装进口 Europlasma 等离子表面处理机和美国 Ambrell 感应加热设备等进口知名品牌的指定代理商 .我们真诚期待与您的合作!

若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请联络

上海伯东: 罗女士

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文献贡献者

伯东公司德国普发真空pfeiffer

金牌会员丨第17年

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