BIue M 封装测试烘箱 206/256/296（台式）136/336/104

BIue M 封装测试烘箱 206/256/296（台式）136/336/104

参考价：¥35万 - 40万
型号： 封装测试烘箱
产地： 美国
品牌： Blue M
评分：
核心参数
上海信联创作
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产品详情

设备特点：

1)       面板为重型钢材（至少16G）；

2)       内胆为304不锈钢满焊密封结构，防止气体进入绝缘层；

3)       全焊接密封结构，保证微量元素和氧气含量，并消除气体的迁移；

4)       表面喷塑处理保证了设备长时间的抗腐蚀能力；

5)       4英寸矿物棉绝缘层大幅度的减少热量散失；

6)       Blue M玻璃纤维大门密封圈设计能有效的密封大门；

7)       所有非易燃气体和惰性气体恰当的形成， 提供了全处理工程中的灵活性

8)       标准的安全门开关保持净化的完整性。

主要技术参数

1)       温度范围：室温+15℃～350℃

2)       均匀度：±1%

3)       控制精度：±0.5℃

4)       分辨率：±0.1℃

5)       性能数据（典型数据）：60分钟以内达到300℃

 

 

规格参数：

Model

型号

206

(台式)

256

(台式)

296

（台式)

136

（立式）

336

（立式）

1046

（立式）

内部容积

4.2cu.ft

5.8cu.ft

9u.ft

11.0cu.ft

24.0cu.ft

24.0cu.ft

内部尺寸 宽*深*高（英寸）

20*18*20

25*20*20

25*25*25

38*20*25

25*20*38

48*24*36

外部尺寸 宽*深*高（英寸）

40*34*57

45*36*57

45*36*66

58*36*71

45*36*84

68*40*82

设备占地面积

9.4 sq.ft

11.0 sq.ft

11.0 sq.ft

15.0 sq.ft

11.0 sq.ft

19.0 sq.ft

电气配置

208VAC单相50/60Hz 线路电流（每相）

3.0 Kw

17

4.5 Kw

25

6.0 kw

33

6.0 Kw

33

6.0 Kw

38

6.8 Kw

38

240VAC 单相50/60Hz 线路电流（每相）

4.0Kw

20

6.0Kw

29

8.0 kw

35

8.0Kw

35

8.0Kw

44

9.0Kw

44

208VAC三相50/60Hz 线路电流（每相）

6.8Kw

20

9.0Kw

27

13.5 kw

40

13.5Kw

40

13.5Kw

53

18.0Kw

53

240VAC三相50/60Hz 线路电流（每相）

9.0Kw

23

12.0Kw

31

18.0 kw

46

18.0Kw

46

18.0Kw

61

24.0Kw

61

480VAC三相50/60Hz 线路电流（每相）

9.0Kw

12

12.0Kw

16

18.0 kw

23

18.0Kw

31

18.0Kw

31

24.0Kw

31

 

推荐气体流量

Model

型号

Purge(SCFH)

吹洗（标准立方英尺/小时）

Run(SCFH)

运行（标准立方英尺/小时）

 

Cool (SCFH)

冷却（标准立方英尺/小时）

 


206

120 SCFH for 27 minutes

25

25


256

200 SCFH for 18 minutes

30

30


136

200 SCFH for 30 minutes

60

60


336

200 SCFH for 30 minutes

60

60


1406

600 SCFH for 24 minutes

120

120


 

关键词：Blue M烘箱,TPS烘箱,DCI206,DCI256,DCI296,DCI136,DCI336,DCI1406, BIue M 芯片烘烤箱, 封装测试,固化,晶圆干燥退火


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