由华爱色谱参与起草的电子特气领域中的两项国家标准：GB/T 42720-2023《电子特气 六氯乙硅烷》和GB/T 42721-2023 《电子特气 一氧化氮》于近日正式发布。
GB/T 42720-2023《电子特气 六氯乙硅烷》规定了六氯乙硅烷的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求。该标准适用于由生产多晶硅副产的六氯乙硅烷经纯化制备的电子用六氯乙硅烷。
GB/T 42721-2023 《电子特气 一氧化氮》规定了一氧化氮的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求。该标准适用于集成电路等电子工业制造中使用的电子用一氧化氮。
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