Ecopia EPS-1000手动探针台

EPS-1000为韩国Ecopia最高端的手动探针台型号，适合科研及半导体微电子器件的失效分析。

产品规格：

- 镀金真空样品吸盘：4", 6", 8" etc；

- 样品尺寸：5x5mm ~ 4", 6", 8" etc；

- 样品卡盘平整度：10um；

- 探针座精度：0.7um；

- 样品卡盘旋转(Phi)：360度；

- 探针台台面快速升降；

- 探针锁位设计，防止回针；

可选附件：

- 显微镜X/Y移动；

- CCD视频镜头；

- 加热台；

- 黑箱、屏蔽箱；

- 防振平台；

- 高倍显微镜 (2000X)；

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参考用户：

哈工大、华中师范大学、南京大学、湖北大学、郑州大学、中科院宁波材料所等.