牛津仪器Ionfab300刻蚀和沉积设备
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牛津仪器Ionfab300刻蚀和沉积设备

参考价:面议
型号: Ionfab300
产地: 英国
品牌: 牛津仪器
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Ionfab 300 IBD

客户选择我们的离子束沉积产品是因为它们能够生产具有高质量,致密和表面光滑的沉积薄膜。离子束技术提供了一种多样的刻蚀和沉积的方法,并可在同一设备上实现, 因而提高系统的利用率。我们的设备具有灵活的硬件选项,包括直开式、单衬底传送模式和盒式对盒式模式。系统规格与实际应用紧密协调,以确保获得速率更快且重复性更好的工艺结果。

  • 多模式功能

  • 能够与其它等离子体刻蚀和沉积设备相集成

  • 单晶圆传送模式或集群式晶圆操作

  • 双束流配置

  • 更低的表面薄膜粗糙度

  • 更佳的批次均匀性和工艺重复性

  • 精确终点监测 —— SIMS,发射光谱

Ionfab 300 IBE

离子束刻蚀的灵活性、均匀性俱佳且应用范围广。我们的设备具有灵活的硬件选项,包括直开式、单衬底传送模式和盒式对盒式模式。系统配置与实际应用紧密协调,以确保获得速率更快且重复性更好的工艺结果。

  • 多模式功能

  • 能够与其它等离子体刻蚀和沉积设备相集成

  • 单晶圆传送模式或集群式晶圆操作

  • 双束流配置

  • 更低的表面薄膜粗糙度

  • 更佳的批次均匀性和工艺重复性

  • 精确终点监测 —— SIMS,发射光谱

牛津仪器科技(上海)有限公司为您提供牛津仪器Ionfab300刻蚀和沉积设备,牛津仪器Ionfab300产地为英国,属于其他,除了牛津仪器Ionfab300刻蚀和沉积设备的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供牛津仪器PlasmaPro100 Estrelas刻蚀设备、牛津仪器PlasmaPro 100 Cobra刻蚀和沉积设备、牛津仪器PlasmaPro 100 Polaris单晶圆刻蚀系统,牛津仪器客服电话400-860-2711,售前、售后均可联系。

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