近日,昆士兰科技大学(Queensland University of Technology)很高兴地宣布,他们刚刚订购了一台TESCAN S8000X氙(Xe)等离子源FIB-SEM系统。
TESCAN S8000X是TESCAN最新推出的全新一代超高分辨超高通量的氙(Xe)等离子源 FIB 系统,具有无与伦比的多功能性和优异的超高分辨成像及高速纳米加工功能,它将成为昆士兰科技大学的CARF平台(Central Analytical Research Facility)在未来几个月安装的“旗舰机”之一。2016年,该平台也向TESCAN采购了一台MIRA3 FE-SEM系统。
图:TESCAN S8000X 氙(Xe)等离子源FIB-SEM系统
昆士兰科技大学(QUT)是一所研究性大学,在澳洲大学中排名前十,世界TOP 3%,历史悠久,声誉卓著。CARF位于昆士兰科技大学内城校区的科学与工程中心,平台实验室拥有最先进的科学分析仪器,CARF除研究广泛的跨学科应用及升级搭建新的科学仪器外,还为各行各业的企业和政府机构提供测试服务。
图:昆士兰科技大学科学与工程研究中心
Xe等离子与Ga离子相比,有更大的质量和原子半径,溅射速度是传统Ga离子源的50倍以上,非常适合长耗时和大体积的铣削任务。此外,Xe等离子还具有注入效应小、不形成金属间化合物、不改变加工区域电学性质等优点。TESCAN是全球第一个推出氙气等离子FIB-SEM系统的厂家,已发展了多代产品,具有业内顶级技术水平和多项发明专利。
昆士兰科技大学CARF的研究专家表示:“我们采购的这台TESCAN S8000X Xe Plasma FIB-SEM将配置顶级的EDS(能量色散X射线光谱仪)和EBSD(电子背散射衍射)探测器,用于3D化学和微观结构分析。特别的是,S8000X还会将ToF-SIMS(飞行时间-二次离子质谱)一体化集成,这为3D化学成像分析提供了最佳方案。
集成的ToF-SIMS不但使电镜拥有了超高的空间分辨率(低至50 nm)和极高水平的表面灵敏度(ppm级),系统还可以检测元素周期表中的所有元素以及同位素,这远远超过了电镜常用的其他元素分析技术,如EDS。”
负责管理TESCAN S8000X的CARF设备专家Annalena Wolff博士说:“我们非常高兴能将新系统引入我们的实验室。它将帮助我们的研究人员保持领先的科学研究地位,我们非常期待与TESCAN更多的合作,以帮助大家更容易地掌握一流的FIB技术“。
CARF显微镜高级研究员Jamie Riches博士补充道,“我们拥有庞大的客户群,他们非常渴望使用这个新系统,因为他们知道这将有利于他们对于地球科学、生命科学和材料的研究。S8000X的大面积截面加工能力为地球科学和生命科学提供了全新的FIB-SEM技术,而这些通常需要纳米分辨率的大面积横截面分析应用,使用常规的Ga离子源FIB铣削无法完成”。
Annalena Wolff 和Jamie Riches博士以及昆士兰科技大学CARF平台也特别感谢了澳大利亚研究理事会(ARC)的LIEF资助计划,正是该计划使这项重大的购买成为可能。他们表示这项重大采购将有助于加强他们在专业领域的研究优势,并使这一尖端技术被更广泛地应用。
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