型号: | JS-1600 |
产地: | 江苏 |
品牌: | 舜仪 |
评分: |
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仪器简介:
JS-600小型离子溅射仪采用二极(DC)直流溅射原理设计,操作简单方便,适用于扫描电子显微镜(SEM)样品制备,非导体材料实验电极的制作。
用户可以根据自己的需要自行选择不同的真空条件,溅射电流。大尺寸的真空腔体设计,满足大样品的溅射需求。标配一片金靶,纯度为99.999%,为获得高质量的金膜提供了良好的基础。
技术参数:
1.靶(上部电极):材料:金,直径:50mm,厚度:0.1mm 纯度:99.999%
2、真空样品室:直径:160mm,高:110mm
3.样品台(下部电极):溅射面积:直径:50mm
4.工作真空: 2×10-1—10-1 mbar
5.离子电流表:0-50mA
6.计时器:根据溅射习惯设定单次溅射时间。
7.溅射电压:-1600DVC
8.飞越真空泵(VRD-4):1.1L/S
9.工作室工作媒介气体:空气或氩气等多种气体
10.针阀: 配有进气口,微量充气调节,可连接φ4*2.5mm软管。
主要特点:
1.轻便、溅射面积大
2.靶材可按用户要求加工制作
备注:JS-600小型离子溅射仪可适用的靶材:金、铂、银
用户单位 | 采购时间 |
中科院固体物理研究所 | 2011/09/13 |
浙江大学 | 2013/01/15 |
重庆大学 | 2012/06/13 |
华南理工大学 | 2013/03/12 |
北京化工大学 | 2012/06/19 |
南开大学 | 2012/04/11 |
天津大学 | 2012/05/15 |
东北大学 | 2012/03/06 |
中国科学技术大学 | 2012/09/11 |
山东大学 | 2013/04/18 |
陕西师范大学 | 2011/11/16 |
西安交通大学 | 2011/11/23 |
上海师范大学 | 2013/03/05 |
同济大学 | 2012/11/06 |
中科院宁波材料所 | 2013/03/06 |
深圳大学 | 2012/07/09 |
南京大学 | 2013/01/24 |
上海交通大学 | 2012/08/08 |
哈尔滨工程大学 | 2012/10/17 |
哈尔滨工业大学 | 2013/05/30 |
中国人民大学 | 2012/04/11 |
青岛大学 | 2011/10/04 |
清华大学 | 2012/03/02 |
中国科学院物理研究所 | 2012/09/05 |
东南大学 | 2013/06/25 |
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