舜仪小型磁控溅射仪JS-1600M_价格-南京舜仪实验设备有限公司

小型磁控溅射仪JS-1600M

参考价：¥3 - 5

型号：

JS-1600M

产地：

江苏

品牌：

舜仪

评分：

产品详情

一、产品应用：

JS-600M小型磁控溅射仪采用二极（DC）直流溅射原理设计，带磁控靶头，有水冷功能。设备操作简单方便，适用于扫描电子显微镜（SEM）样品制备,非导体材料实验电极的制作。

磁控溅射为冷溅射，对样品表面的升温较低，适用对温度较敏感的薄膜样品。用户可以根据自己的需要自行选择不同的真空条件，溅射电流。大尺寸的真空腔体设计，满足大样品的溅射需求。标配一片金靶，纯度为99.999%，为获得高质量的金膜提供了良好的基础。

二、配置及技术指标：

1.水冷却磁控靶，靶面直径为50mm；冷却水接口：6*4mm快速插头。

2.主机规格：L360mm*W300mm*H380mm

3.靶（上部电极）：金：直径：50mm，厚度：0.1mm

4.真空样品室：直径：160mm，高：110mm

5.溅射面积：Ф50mm

6.工作真空：2×10^-1—6×10^-2mbar

7.离子电流表：0-100mA

8.定时器：根据溅射习惯设定单次溅射时间。

9.针阀：配有进气口，微量充气调节，可连接φ4*2.5mm软管。

10.工作室工作媒介气体：空气或氩气等多种气体

11.溅射电压：-1600 DCV

12. 飞跃真空泵（VRD-4）：1.1L/S

三、 产品特点

1. 轻便、溅射面积大

2. 可以溅射铂、金及银等金属

3. 溅射效率高，可水冷降温

备注：JS-600M小型磁控溅射仪可适用的靶材：金、铂、银

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典型用户

用户单位	采购时间
贵州师范学院	2016/12/22
中国科学院长春应用化学研究所	2016/11/18