小型磁控溅射仪JS-1600M
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小型磁控溅射仪JS-1600M

参考价:¥3 - 5
型号: JS-1600M
产地: 江苏
品牌: 舜仪
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产品详情

 

一、产品应用:

   JS-600M小型磁控溅射仪采用二极(DC)直流溅射原理设计,带磁控靶头,有水冷功能。设备操作简单方便,适用于扫描电子显微镜(SEM)样品制备,非导体材料实验电极的制作。

   磁控溅射为冷溅射,对样品表面的升温较低,适用对温度较敏感的薄膜样品。用户可以根据自己的需要自行选择不同的真空条件,溅射电流。大尺寸的真空腔体设计,满足大样品的溅射需求。标配一片金靶,纯度为99.999%,为获得高质量的金膜提供了良好的基础。

二、配置及技术指标:

1.水冷却磁控靶,靶面直径为50mm;冷却水接口:6*4mm快速插头。

2.主机规格:L360mm*W300mm*H380mm

3.靶(上部电极):金:直径:50mm,厚度:0.1mm

4.真空样品室:直径:160mm,高:110mm

5.溅射面积:Ф50mm    

6.工作真空:2×10-1—6×10-2 mbar

7.离子电流表:0-100mA

8.定时器:根据溅射习惯设定单次溅射时间。

9.针阀: 配有进气口,微量充气调节,可连接φ4*2.5mm软管。

10.工作室工作媒介气体:空气或氩气等多种气体

11.溅射电压:-1600 DCV

12. 飞跃真空泵(VRD-4):1.1L/S

三、 产品特点

1. 轻便、溅射面积大

2. 可以溅射铂、金及银等金属

3. 溅射效率高,可水冷降温

 备注:JS-600M小型磁控溅射仪可适用的靶材:金、铂、银


南京舜仪实验设备有限公司为您提供舜仪小型磁控溅射仪JS-1600M,舜仪JS-1600M产地为江苏,属于国产离子溅射仪,除了小型磁控溅射仪JS-1600M的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供小型离子溅射仪、大功率一体式冷却循环水机,舜仪实验客服电话400-860-5168转1013,售前、售后均可联系。

典型用户
用户单位 采购时间
贵州师范学院 2016/12/22
中国科学院长春应用化学研究所 2016/11/18
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