超声波圆片切割器是利用超声波换能器将声能转化为机械能,并传递
给介于管状工具头和样品之间的磨料(如碳化硼)粒子并撞击硬而脆
的样品,获得与工具头形状相应的圆环形、矩形或其他特殊形状的槽。
配备了切割Φ3mm、Φ2.6mm和Φ2.3mm圆片的管状工具头,主要用于切
割陶瓷及复合材料、半导体及其集成电路、玻璃、岩矿、工程塑料以
及骨、牙齿等硬而脆的圆片样品。刻蚀过程不会损伤圆片中心区域的
显微结构,为制备这些材料的TEM样品提供合适尺寸的圆片。
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