108自动真空溅射仪是目前较为先进的对样品进行预处理的仪器。主要适用于扫描电子显微(SEM)和X射线微观分析等表征工作前的镀金等贵金属处理。同时,彻底排除了真空度对成膜质量的影响,溅射电流,可“暂停”的时间控制和进气量的调节控制保证了溅射的质量。
1、108自动溅射仪提供了完全自动或手动操作两种工作模式,其中包括自动放气和进放氩气控制。
2、在自动模式中,可以通过数显工作时间或MTM-20膜厚监控仪(可选件)来实现镀膜的可重复性。
3、为了获得高质量的镀膜,镀膜仪会根据一定的成膜速率和真空室内的气压来调控工作电流值。
4、采用直流磁控管低压“超冷”溅射,使得镀膜时对试样的热影响最小。
5、电子阀结合针阀设计使得放气、充气操作简单快捷。
6、可以快速更换溅射靶材
技术参数表 |
腔体尺寸 | 120mm OD x 120mm height (4.75 x 4.75") |
靶材 | 标配Au 选配Au:Pd, Pt, Pt:Pd 规格57mm dia x 0.1mm thick |
样品台 | 12孔SEM钉型样品台支架高度 60mm可调 |
真空度 | 大气压 - 0.001mb |
工作电压 | 200-240 VAC, 50Hz |
工作功率 | 300W |
北京中镜科仪技术有限公司为您提供中镜科仪自动真空溅射仪108A,中镜科仪108A产地为其他,属于进口离子溅射仪,除了自动真空溅射仪的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多离子溅射仪,中镜科仪客服电话400-860-5168转1115,售前、售后均可联系。