国产小型离子溅射仪主要用于扫描电子显微镜样品镀覆导电膜(金膜)
,仪器操作简单方便,是配合SEM制样必备的仪器。设备配有微量充
气阀调解工作真空,在20Pa真空保护。同时,配有专用进气口和微量
充气调节方便空气或氩气等工作气体充入。
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