MCL纳米双轴位移台M250
MCL纳米双轴位移台M250
MCL纳米双轴位移台M250

MCL纳米双轴位移台M250

参考价：面议
型号： Nano-M250
产地： 美国
品牌： MCL关注纳米
评分：
核心参数
北京欧兰科技发展有限公司
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产品详情


Features

  • Compact size

  • Two axis motion

  • 50 μm x 50 μm ranges of motion

  • 0.5 inch aperture

  • Closed loop control



Typical Applications

  • Alignment

  • Nanolithography

  • Scanning microscopy


     

Product Description

The Nano-M250 is a compact, two axis nanopositioning system constructed from titanium or invar. The small dimensions of the Nano-M250 allow it to be easily integrated into existing instrumentation for applications such as nanolithography and SEM. The 0.5” center aperture provides a convienent optical pathway or feedthrough for probe assemblies. Internal position sensors utilizing proprietary PicoQ® technology provide absolute, repeatable position measurement with picometer accuracy under closed loop control. The Nano-M250 is also available in high vacuum and ultra high vacuum compatible models.



Technical Specifications

Range of motion (XY)50 μm x 50 μm
Resolution
0.1 nm
Resonant Frequency (X)1.0 kHz ±20%
Resonant Frequency (Y)700 Hz ±20%
Stiffness1.0 N/μm
θ roll, θ pitch (typical)≤1 μrad
θ yaw (typical)≤3 μrad
Recommended max. load (horizontal)*0.5 kg
Recommended max. load (vertical)*0.2 kg
Body MaterialInvar or Titanium
ControllerNano-Drive®
* Larger load requirements should be discussed with our engineering staff.



Additional Information

Nano-M250 Drawing

Nano-M250 Catalog Pages



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