LLG 极紫外/远紫外波前传感器

LLG 极紫外/远紫外波前传感器

报价:面议
型号: LLG-EUV/XUV-S
产地: 德国
品牌: 哥廷根激光
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产品详情
简介
该Hartmann波前传感器适用于相干和非相干辐射,具有紧凑自支撑、色差校正等特点,可用于EUVL等离子源、自由电子激光器和高次谐波生成光束的特性分析。具备实时光学调整功能,单脉冲重复性λ/116(wrms)(对于EUV,λ=13.5 nm)。其波长范围<1 nm至60 nm,视场为9.0mm x 6.7mm,动态范围达14位,倾斜范围±10°,x/y平移范围±10mm,并兼容UHV环境。

features:

? Hartmann wavefront sensor for coherent and incoherent radiation
?Compact and self-supporting
?Achromatic
?Actinic characterization of: EUVL plasma sources
                                               Free Electron Lasers
                                               HHG beams
?Real-time optics adjustment
?Single-pulse repeatability λ/116 (wrms) for EUV (λ =13.5 nm)

Specifications:

?Wavelength range< 1 nm... 60 nm (quantumconverter)
?Field of view 9.0mm x 6.7 mm(larger on request)
?Dynamic range14 bit
?Hartmann plate precision pinholes ?75μm, 250μm pitch
?Tilt range±10°
?x/y translation range±10mm
?UHV compatiblemounted on CF63 flange

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