标题:南京理工大学多功能平台聚焦扫描式微区X射线光电子能谱仪PHI5000 VersaprobeII设备开始调试。
滨州创元设备机械制造有限公司代理的日美纳米表面分析仪器公司(U-P)的最新型多功能平台聚焦扫描式微区X射线光电子能谱仪PHI5000VersaprobeII/UPS近期在南京理工大学开始安装调试。
这是一款新型的世界一流水平的设备,这款设备的成功应用将帮助南京理工大学光电学院的研究迈向新的世界水准高度。
参见PHI5000VersaprobeII主要技术参数机主要选项:
检测项目 | 检测条件 | 样品 | 测量方法 | 指标值 |
系统到达真空 | 分析室无样品,系统经过完全烘烤后冷至室温;使用升华泵 | 无 | 测量系统真空压力 | <5x10-10 torr |
| Take-off为75度 | Ag样品抛光后表面轻微溅射一下 | 能量范围372 eV 到 365 eV. | Ag 3d 5/2 峰半高宽 |
PET 样品XPS光电子能量分辨率 | Take-off为45度 | PET 样品不需要使用任何金属网增加导电性能 | 能量范围300 eV to 280 eV. | C1s的O=C-O峰半高宽 FWHM < 0.85 eV |
最小X射线斑束 | Take-off为45度 | 300 LPI Cu grid | 对铜栅网边缘扫描得到铜信号, | <9.0μm 在x 方向 |
常用X射线斑束 | Take-off为45度 | 300 LPI Cu grid | 对铜栅网边缘扫描得到铜信号, | <10.0 μm @ <1.25 watts |
X-ray XPS灵敏度和能量分辨率 | | Ag样品抛光后表面轻微溅射一下 | 能量范围372 eV 到 365 eV. | X-ray Beam Energy |
离子枪 | 离子能量5 kV | 样品台 | 测量到达样品台的离子电流 | >5.0 μA @ 5 kV |
离子枪工作时候分析室内压力 | 离子能量5 kV | 无 | 用标准离子规测量溅射时分析室压力 | < 5x10-8 torr |
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