加拿大OCI公司推出新型多功能分子束外延生长装置IMBE300

北京创元冠国际科技有限公司(原滨州创元设备机械制造有限公司)

我司全权代理的加拿大OCI公司近期首次推出世界上最新型多功能分子束外延生长装置IMBE300。该装置在一台装置上同时可集成如下6大技术使之尤为引人瞩目。

1. 带有7个蒸发源的MBE

2. 低能电子衍射仪

3. 俄歇电子能谱仪

4. X射线光电子能谱仪

5. 反射高能电子衍射仪

6. 热脱附质谱仪

该装置实现了如下的设计制造目标:在一个超高真空腔体上完成外延生长过程集成监控，2-D结晶状态跟踪以及原位成分/电子能带分析。

具体说来有如下特点。

1. 在薄膜生长后无需传送到另外的超高真空室进行分析。

2. 在蒸发和表面分析之间只需很短的切换时间。

3. 具有传送臂和试样存储机构的样品室。

4. 试样传送机构和其他系统兼容，SPM和SEM。

敬请国内材料工作者来电咨询合作。参见下面图片说明。

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