ACIG系列有两种控制器。
采用嵌入永久磁石的离子源,使离子化效率更高。无需使用差动排气,即使
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《标准型号》ACIG-3P-C | |||||||||||||||||||||
标准系列ACIG-3P-C控制器是与离子加速电压1KV,2KV,3KV三点切换方式,具备样品电流检测,扫描功能,并且操作简单。 | |||||||||||||||||||||
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《高机能》离子枪控制器 ACIG-3P-2 | |||||||||||||||||||||
高机能系列ACIG-3P-2控制器是可实现离子加速电压的低电压和高电压之间的任意调节的根据需要对加速电压,镜头条件调节的高性能型号。作为可选项和扫描电源结合,可实现20nm×20nm范围内的面扫描。 |
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