涡轮分子排气系统 ATU-001系列

北京创元冠国际科技有限公司(原滨州创元设备机械制造有限公司)

2012/11/18 10:44
TA的动态

简单实用：简洁设计，操作简单
用户自定义：9种真空泵可选
高性能：从大气压到高真空排气
可扩展组件：提供丰富组件搭配
涡轮分子排气系统 ATU-001系列
L
低型
H
高型

涡轮分子排气系统 ATU-001系列

涡轮分子排气系统
 
一次侧输入电源：
单相AC100V
电源线2m,底线付电源插头
阀门：
隔离阀(V-025SV-100)
配管：
NW25接口波纹管 SUS304
排气管：
NW25(16)-38聚氯乙烯管

涡轮分子排气系统 ATU-001系列
序号
型号（生产商）
排气速度
到达压力
 
备注
A
STP-301（EDWARDS）
300L/s
10-8Pa
 
排气口法兰 ICF152
冷却方式　空冷（付风扇）
付控制装置
B
TG220F（大阪真空）
210
10-6
 
C
PT150（岛津制作所）
190
10-8
 
D
HiPace300/TC110（伯东株式会社）
260
5×10-8
 
E
STP-ix455（EDWARDS）
300
10-8
 

前级泵
序号
型号（生产商）
排气速度
 
备注
R1
RV8（EDWARDS）
141L/min
 
付除油雾器
(OME25S)
R2
M2010SD（Alcatel-Lucent）
141
 
R3
M2015SD（Alcatel-Lucent）
208
 
S1
ISP-250C-SV（阿耐思特岩田株式会社）
250
  

可选组件
序号
商品名
 高型 低型 备注
无
无
      
P
 
 ○ ―
T
把手
 ○ ―
Q
真空计：冷阴极-皮拉尼复合真空计
 ○ ○ (M-360CP) 显示器(M601GC)
F
前置油阱
 ○ ○ (FL-20K)
K
TMP固定板
 ○ ―
A
自动排气
 ○ ○
X1
特别定做 分油器
 ○ ○ ICF152×1,NW40×1
X2
特别定做 分油器
 ○ ○ ICF152×1,ICF70×3,NW25×2
X3
特别定做 分油器
 ○ ○ ICF152×2,ICF70×4
Z ※可根据具体要求设计定做


设计图 ATU-001
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