检测项目 | 检测条件 | 样品 | 测量方法 | 指标值 |
---|---|---|---|---|
系统到达真空 | 分析室无样品,系统经过完全烘烤后冷至室温;使用升华泵 | 无 | 测量系统真空压力 | <5x10-10 torr |
Ag样品XPS光电子能量分辨率 |
Take-off为75度 样品为银 斑束为20um 功率为4.5W |
Ag样品抛光后表面轻微溅射一下 |
能量范围372 eV 到 365 eV. 取谱时间10 min,采用 Shirley法去除本底,使用PHI MultiPak测量半高宽 FWHM |
Ag 3d 5/2 峰半高宽 FWHM < 0.50 eV |
PET 样品XPS光电子能量分辨率 |
Take-off为45度 斑束为100um 电子和离子双束中和 |
PET 样品不需要使用任何金属网增加导电性能 |
能量范围300 eV to 280 eV. 取谱时间5 min 采用 Shirley法去除本底,使用MultiPak进行 Gausian/Lorentzian 曲线拟合求出FWHM |
C1s的O=C-O峰半高宽 FWHM < 0.85 eV |
最小X射线斑束 |
Take-off为45度 |
300 LPI Cu grid |
对铜栅网边缘扫描得到铜信号, 使用PHI MultiPak 采用80/20法去评价斑束大小 |
<9.0μm 在x 方向 <9.0μm 在y 方向 |
常用X射线斑束 |
Take-off为45度 |
300 LPI Cu grid |
对铜栅网边缘扫描得到铜信号, 使用PHI MultiPak 采用80/20法去评价斑束大小 |
<10.0 μm @ <1.25 watts <15.0 μm @ <2.50 watts <20.0 μm @ <4.50 watts |
X-ray XPS灵敏度和能量分辨率 |
设定X射线斑束时候采用Take-off为75度 设定大功率X射线时候采用Take-off为90度 各种pass energy 设定 |
Ag样品抛光后表面轻微溅射一下 |
能量范围372 eV 到 365 eV. 采用 Shirley法去除本底,使用PHI MultiPak测量半高宽确定能量分辨率和强度从而得到能量分辨率-灵敏度曲线 |
X-ray Beam Energy Sens. Size Res. > 15kcps <10.0 μm <0.60 eV > 30kcps <15.0 μm <0.60 eV > 55kcps <20.0 μm <0.60 eV > 35kcps <10.0 μm <1.00 eV > 70kcps <15.0 μm <1.00 eV > 125kcps <20.0 μm <1.00 eV >3Mcps High <1.30eV Power Mode |
离子枪 最大电流 |
离子能量5 kV | 样品台 |
测量到达样品台的离子电流 偏压开 |
>5.0 μA @ 5 kV |
离子枪工作时候分析室内压力 |
离子能量5 kV 开启差动排气 |
无 | 用标准离子规测量溅射时分析室压力 | < 5x10-8 torr |
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