型号: | FSM128/FSM413/FSM127 |
产地: | 美国 |
品牌: | FSM |
评分: |
|
美国FSM应力仪
-----应力测试专家,为行业优选应力仪!
Semi-Auto(半自动) Fully-Auto(全自动)
* 自动切换的双光路波长:650纳米和780纳米
* 测量方式:直径方向的扫描,可提供形貌图
* 扫描范围:对于200mm的硅晶圆为194mm
* 3-D形貌图:测量台有旋转功能,可通过控制软件中的参数输入来旋转测量台,以完成形貌图的测量(至少需要测量6个方向的扫描)
* 测量的硅晶圆尺寸: 200mm
* 应力测量的范围:1X107 dynes/cm2 至 4X1010 dynes/cm2(对于典型的硅晶圆)
* 测量数据输出:测量数据表格为客户提供的参数包括,料盒的编号、晶圆的编号、测量次数的编号、应力数值、晶圆曲率半径的数值、晶圆基片的厚度和镀膜的厚度,以及测量时间。测量数据可选择输出为Excel格式,文本文档格式,同时可以输出样品形貌图
* 客户包括Intel,Samsung,LG IBM等等。
有任何需要请联系赛伦科技(上海,北京都有办事处)
相关产品
NADAtech wafer Sorter
Hitachi+S4700+SEM
晶圆/硅片划遗线检测/统计Slip Finder
美国Gaertner椭偏仪/膜厚测量仪/Ellipsometer
扩散炉/LPCVD/diffusion and LPCVD Furnace
FSM128非接触薄膜应力测试
MTI 硅片几何参数(厚度,TTV,Bow,Warp)
美国Mactronix硅片倒片机(半导体FAB专用)
WEP,ECV PN结深度测试仪/扩散浓度分布)
美国AST椭偏仪
CV仪/汞探针(美国四维公司)Four Dimensions,Inc.(4D)
进口四探针电阻率测试仪(4PP)/方块电阻测试仪
关注
拨打电话
留言咨询