资料摘要
资料下载采用真空蒸镀法在硅片表面形成了一层具有表面增强拉曼活性的金岛膜。拉曼光谱发现该金岛膜表面存在非晶态碳的污染物。通过比较不同清洗方法的拉曼光谱可以证明, 用氧气等离子体清洗金岛 膜可有效去除金表面的杂质。金岛膜的表面增强拉曼活性在清洗前后没有发生明显变化。
文献贡献者
等离子体表面处理技术在汽车行业中的应用
简介：上海昭沅仪器设备有限公司代理美国Plasma Etch 公司生产的等离子体表面处理设备。 专门针对于大学/科研机构、工厂研发的实验室型和工厂批量处理装置，具有移动方便、多 种配置功能、超高性能及稳定性、操作方便的特点。
等离子体表面处理-低温等离子体概念
简介：上海昭沅仪器设备有限公司代理美国Plasma Etch 公司生产的等离子体表面处理设备。 专门针对于大学/科研机构、工厂研发的实验室型和工厂批量处理装置，具有移动方便、多 种配置功能、超高性能及稳定性、操作方便的特点。
等离子体表面处理-低温等离子体概念
简介：上海昭沅仪器设备有限公司代理美国Plasma Etch 公司生产的等离子体表面处理设备。 专门针对于大学/科研机构、工厂研发的实验室型和工厂批量处理装置，具有移动方便、多 种配置功能、超高性能及稳定性、操作方便的特点。
等离子清洗机/等离子处理机在高端科技领域中的应用
简介：等离子表面处理机可用于高端科技领域，比如应用于电池隔膜处理，提髙吸碱率及亲水性；应用于航空航天连接器，改善电连接器中的绝缘体与封线体之间的粘接效果。
等离子清洗机/等离子处理机在IC半导体领域的应用
简介：等离子处理系统目前可用于半导体领域，例如清洁，蚀刻，表面活化和提高可制造性；先进半导体封装和组装（ASPA），晶圆级封装（WLP）；封装，成型
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