日本ATAGO（爱宕）折光仪在光刻设备中的应用

2011/08/30   下载量： 11 次

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浸入式光刻是指在光刻机投影镜头与半导体硅片之间用一种液体充满，从而获得更好分辩率及增大镜头的数值孔径，进而实现更小曝光尺寸的一种新型光刻技术。日本ATAGO（爱宕）是全球折光仪产品的领导者，其独有的高折射率阿贝折射仪及多波长阿贝折射仪在光刻机领域高折射率浸入液的研究与高折射率镜头的研究中具有不可替代的作用。

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文献贡献者

ATAGO（爱拓）中国分公司
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