日立高新SU9000对BaCO3和TiO2的颗粒混合物的观察例

日立科学仪器（北京）有限公司

2013/11/11 09:06

     本例是BaTiO3多层沉积结构陶瓷电容的原材料BaCO3和TiO2的颗粒混合物的观察例。由于这些颗粒的混合比例不同陶瓷电容的性质也随之发生变化，所以通过电镜观察掌握BaCO3颗粒和TiO2颗粒的混合状态非常重要。

    左图是用5kV加速电压观察的LABSE图像；右图是用0.8kV加速电压观察的LABSE图像。由于加速电压不同，激发深度不同，所以0.8kV拍的照片和5kV拍的照片相比较可以发现前者的成分对比度更佳。
    正是如此，低加速电压下的BSE图像观察，可以更有效的反应出微小颗粒的成分差异。

    而且，像右图那样使用高角背散射电子（HABSE）信号观察，和左图的LABSE相比，成分对比度更加强烈。
    本例采用日立高新SU9000超高分辨率场发射扫描电子显微镜进行观察，关于此仪器请参考：http://www.instrument.com.cn/netshow/SH102446/C138508.htm

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