PMMA电子束光刻胶

PMMA电子束光刻胶

参考价:面议
型号: PMMA
产地: 美国
品牌: MicroChem
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香港电子器材有限公司
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产品详情

PMMA(polymethyl methacrylate)是一种非常适合许多成像和非成像微电子应用程序的聚合物材料。通常用于电子束工艺曝光,如T-gate制造。还用于临时晶片接合工艺如晶片减薄,用作保护层和临时粘合剂。


PMMA光刻胶是PMMA聚合物被溶解在特定的分子量溶剂中,如苯甲醚(安全的溶剂),然后过滤。传统曝光,直接写曝光或X-射线曝光使聚合物的断链,从而在光刻胶的曝光和未曝光区域之间产生溶解度差异,实现非常高分辨率的图像。


PMMA的分类

1)PMMA 495 A系列

2)PMMA 495 C系列

3)PMMA 950 A系列

4)PMMA 950 C系列

 

PMMA特性:

1)溶剂:苯甲醚(A)和氯苯(C)

2)非常适合于电子束光刻和X射线曝光

3)高分辨率:<0.1um,PMMA 950适用于高分辨率的应用,PMMA 495则相对较低

4)广范围分子量和粘度

应用:电子束光刻、多层T-Gate剥离、晶圆减薄等。

 

相关溶液:

1)显影液:MIBK:IPA

2)去胶剂:Remover PG

3)稀释剂:A Thinner

 

一般储存温度:

10-27℃

 


香港电子器材有限公司为您提供MicroChemPMMA电子束光刻胶,MicroChemPMMA产地为美国,属于其他,除了PMMA电子束光刻胶的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多其他,香港电子客服电话400-860-5168转2459,售前、售后均可联系。

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