薄膜生长原位监测掠入射小角散射(GISAXS)系统

2015-12-01 09:28  下载量:5

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全球首套实验室级实时监测薄膜生长的掠入射小角散射(GISAXS)系统。曝光时间仅为8s,入射角调到与临界角接近,可以达到实时沉积的亚单层灵敏度。

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