解析新款真空计原理

北京恒奥德仪器仪表有限公司

解析新款真空计原理

真空计(Vacuum Gauge)，c真空表，是测量真空度或气压的仪器。般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化行气压的测量。在科研和业生产中广泛使用。

原理

按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可将主要的真空计分为三大类，分别是利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的真空计。

利用力学性能的真空计典型的有波尔登规(Bourdon)和薄膜电容规;利用气体动力学效应的典型真空计有皮拉尼(Pirani)电阻规和热电偶规;利用带电粒子效应的典型真空计有热阴电离规和冷阴电离规。

折叠薄膜电容规

折叠皮拉尼电阻规

皮拉尼电阻规

也叫做热电阻真空计，它是利用电阻与温度之间关系的原理作的。

如右图所示，由于不同气压下气体分子热传导能力不同，当给热丝加恒定的电流时，由于气压不同通过气体传导走的热量不同，热丝所保持的温度就不同，这导致热丝电阻大小不同，通过测量热丝电阻大小就可以推算气压大小。

如果配合电桥测量热丝电阻的变化，将有效提测量的准确度。

这种规的测量范围般在0.1Pa至1000Pa。

由于不同气体在相同气压时导热性不同，所以这种规需要在不同的使用气体下标定。

热电偶规

热电偶规

如右图所示，热电偶规与皮拉尼电阻规基本原理致，只是它不用测量热丝电阻的变化，而是用热电偶直接测量热比的温度变化。

测量范围般与在0.1Pa至1000Pa。

与皮拉尼电阻规样，这种规也需要在不同的使用气体下标定

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