| 型号： | SC200-SE |
| 产地： | 北京 |
| 品牌： | |
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安赛斯精密匀胶机，本型号适用于12英寸及以下晶元旋涂需要。
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产品介绍：
名称：高精密匀胶机
型号：SC200-SE
产地：
应用：在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。
产品概述：
精密匀胶机是一种小型、灵活和经济的旋转匀胶设备，它可以实现价值百万美元设备（track）的上才可能达到稳定性和均匀性。
不锈钢外壳比塑料或者烤漆金属更耐久和美观；工业级别400瓦伺服电机系统，采用于track设备相同设计和程序，使您的工艺更具有实际应用意义；同类产品中达到50000rpm/s的旋转加速度，确保旋转匀胶的稳定性和极高的可重复性。
性能指标：
l 主机机箱采用不锈钢材料（抗化学腐蚀易清洁）
l 旋涂程序：最多存100组程序，每组100步，每个步骤可精确到0.1秒
l 转动速度：0-5,000rpm（更高速可选），考虑重片或大片旋涂安全性限定为5000rpm
l 旋涂加速度：0-10,000rpm/sec（更高可选），考虑重片或大片旋涂安全性限定为10000rpm/s
l 马达旋涂转速稳定性能误差 < ±1rpm
l 转速调节精度<1rpm，重复性< 1rpm
l 工艺时间设定： 0-3,000 sec/step，时间设置精度：0.1sec
l 支持wafer尺寸25px-300mm（12“圆晶）
l 旋涂作业均匀性：< ±3% 在6英寸范围内（需要去除边缘3毫米区域测量）
产品特点：
l 内部紧凑设计，缩小了设备的尺寸。
l 7"触屏控制面板操作系统，更方便操作。
l Telon ®/polyethylene “密闭碗”设计可适合各种材料匀胶工艺。
l 标准配置转速5000rpm，并可根据用户需要进行定制。
l 采用工业级别伺服电机，电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。
l 机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢，永不生锈，便于清洗。
l 排风和抽气系统位计于载片台之底部 （以利于排风效率和匀胶均一性）。
l 透明可视，耐化学腐蚀的密封盖，可以在旋涂作业时完全隔绝光阻的溢出及有效隔绝有毒气味的散发。
产品外型尺寸：
613mm(D) * 463mm(W) * 306mm(H)
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| 用户单位 | 采购时间 |
| 中科院物理所 | 2015/09/14 |
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