型号: | HC160PE |
产地: | 北京 |
品牌: | Analysis |
评分: |
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产品特色:
&设计紧凑,可放置在手套箱内;
&4.3英寸彩色触屏控制,人机界面;
&一体加工成型的HDPE内腔,耐腐蚀,易清洁;
内腔壁采用独特的凹面设计,有效防溅;
&高级PLC全自动程序控制,可编程;
&带真空度安全互锁检测功能;
带盖子安全互锁检测功能;
&具有电机进胶保护功能;
管路易疏通设计;
具有真空不足提示及保护功能,具有断电后参数自动保存功能。
&带一路自动点胶接口,可升级自动点胶系统;
&可设置用户密码保护功能;
&配置可调基座,方便调节水平;
技术参数:
& 适用晶元尺寸范围:直径5~160mm;
&旋涂速度:100~12000rpm;
转速分辨率:1rpm;
&旋涂加速度:100-30000rpm/s;
&最大旋涂时间:3000s;旋涂时间精度:0.1s;
& 内腔直径220mm,内腔壁采用独特的凹面防溅设计;
&具备单步快速旋涂和多步编程旋涂,可编程100组程序,每组程序10步;
&电源输入:AC200-230V;
设备包含1台无油真空泵,三只常规尺寸的载物盘,载物盘尺寸可定制。
更多产品信息及优惠报价,请联系安赛斯工作人员。
用户单位 | 采购时间 |
清华大学 | 2023/10/09 |
上海科技大学 | 2023/10/11 |
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