示踪气体法半导体制造设备通风性能测量系统

示踪气体法半导体制造设备通风性能测量系统

参考价:面议
型号: ​DKG-TGV301
产地: 北京
品牌: 杜克泰克
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产品详情

概述:

        整个测量系统由光声光谱气体检测仪、多点采样器、专用软件组成;在用户要求的情况下,还可以集成释放装置MFC,管路等一体化解决方案。


特性

  • 光声光谱法原理,悬臂梁专利探测技术

  • 可同时测量SF6等多种示踪气体及VOC

  • 检测限低,测量精度高(ppb)

  • 测量响应快

  • 多点采样器,可扩展12-64个采样点

  • 无需预处理、无耗材、无载气

  • 可定制释放装置和管路


应用

  • 半导体制造设备通风性能检测(国际半导体协会SEMI S6标准)

  • SF6泄露检测


北京杜克泰克科技有限公司为您提供杜克泰克示踪气体法半导体制造设备通风性能测量系统​DKG-TGV301,杜克泰克​DKG-TGV301产地为北京,属于室内空气质量监测/检测仪,除了示踪气体法半导体制造设备通风性能测量系统的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多室内空气质量监测/检测仪,杜克客服电话400-860-5168转3578,售前、售后均可联系。

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