型号: | ​DKG-TGV301 |
产地: | 北京 |
品牌: | 杜克泰克 |
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概述:
整个测量系统由光声光谱气体检测仪、多点采样器、专用软件组成;在用户要求的情况下,还可以集成释放装置MFC,管路等一体化解决方案。
特性
光声光谱法原理,悬臂梁专利探测技术
可同时测量SF6等多种示踪气体及VOC
检测限低,测量精度高(ppb)
测量响应快
多点采样器,可扩展12-64个采样点
无需预处理、无耗材、无载气
可定制释放装置和管路
应用
半导体制造设备通风性能检测(国际半导体协会SEMI S6标准)
SF6泄露检测
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