型号: | BRV-100 |
产地: | 日本 |
品牌: | |
评分: |
|
▼概要
美国国家标准技术研究所(National Institute of Standards and Technology)NIST发表了CaF2等的氟化物双折射对于实现光刻的高解像度是很大的障碍。现在虽然确立了补偿方法,克服这种问题,但是为验证这个方法是否可行,需要用到在真空紫外波长区域具有高灵敏度的双折射计。本装置是日本分光多年来积累的偏光测定技术在真空紫外领域的扩展,高灵敏度双折射测量的解决方案。根据偏光变调法,在真空紫外波长区域进行氟化物等的双折射测量。为排除氧以及水的吸收所有的光路都进行氮气吹扫。
◆规格
▼BRV-100
BRV-100 | |
波长范围 | 140nm~320nm |
光刻灵敏度 | 0.05nm(157nm) |
稳定性 | 1count/h(157nm) |
检测下限 | 0.17 nm(157nm) |
相关产品
JASCO圆二色光谱仪CD J-1500
JASCO振动圆二色光谱仪VCD FVS-6000
JASCO圆偏振荧光光谱仪CPL-300
JASCO高效色谱仪LC-4000
jascoRFT-6000傅立叶变换红外拉曼光谱仪
JASCO红外显微镜IRT-7200
MSV-5000显微紫外可见近红外分光光度计
jasco紫外可见分光光度计 V-700
JASCO FTIR-4000傅立叶变换红外光谱仪
JASCO 全自动数字旋光仪P-2000
JASCOFP-8000系列荧光光谱仪
JASCO SFC4000超临界流体色谱仪
JASCONRS5000/7000共聚焦激光拉曼光谱仪
JASCO V-7000系列紫外可见近红外分光光度计
JASCO傅立叶变换红外光谱仪FT/IR-6000
关注
拨打电话
留言咨询