jasco,真空紫外复曲折率计(BRV-100)

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参考价:面议
型号: BRV-100
产地: 日本
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佳士科商贸有限公司
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概要
美国国家标准技术研究所National Institute of Standards and TechnologyNIST表了CaF2等的氟化物双折射对于实现光刻的高解像度是很大的障碍虽然确立了补偿方法,克服这种问题,但是为验证这个方法是否可行,需要用到在真空紫外波长区域具有高灵敏度的双折射本装置是日本分光多年来积累的偏光测定技术在真空紫外领域的扩展,高灵敏度双折射量的解决方案。根据偏光变调法,在真空紫外波长区行氟化物等的双折射量。排除氧以及水的吸收所有的光路都进行氮气吹扫。


规格

BRV-100


BRV-100

长范围

140nm320nm

光刻灵敏度

0.05nm157nm

稳定性

1counth157nm

检测下限

0.17 nm157nm



佳士科商贸有限公司为您提供jasco,真空紫外复曲折率计(BRV-100),nullBRV-100产地为日本,属于其它光谱仪,除了jasco,真空紫外复曲折率计(BRV-100)的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多其它光谱仪,JASCO客服电话400-860-5168转3665,售前、售后均可联系。

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